Uburyo bwo gukora Ibikorwa vy'Ivyiyumviro vy'Ivyiyumviro

Inzira y'ubuhinga
Gutanga ibikoresho vyo gukura n’amasoko ya gazi: Gutanga ibikoresho vyo gukura ku bijanye n’ivyo bihimba vy’umubiri bishobora gutuma umuntu abona ibintu, nka SiO mu bintu bimwebimwe, mu gihe bitanga amasoko ahuye n’ibikoresho vyo gukura, nka SiH ₄, N O, na N ₂ ihuriro ry’inkomoko.
Igishushanyo c’igice c’imbere c’umubiri: Koresha ikintu kimwe co gukura kugira ngo ukore n’imiburiburi ibice bibiri vy’uguca ibibatsi vy’uguca ibibatsi ku gice c’imbere. Igipande c’ibintu bishobora kubamwo igice ca SiO, Si layer, n’igipande c’ugufata mu buryo bukurikirana ku bijanye n’inzira y’ukukura kwa filime. Gufata - umurongo w’ukugereranya (igice ca mbere c’uguca ibibatsi n’igice ca kabiri c’uguca ibibatsi) nk’akarorero, ishingwa n’uburyo bwo gukura kw’ibihimba vy’umubiri (nk’uburyo bwo gutera umwotsi w’imiti PECVD). Intambwe zidasanzwe ni ibi bikurikira:
Gukora neza: Inyuma y’ugusukura ivyuma vy’amazi ku gice c’inyuma, ushire igice c’inyuma ku bikoresho vyo gushiramwo CVD.
Ibikoresho vy'ibikoresho: Gucungera ubushuhe bwo hejuru bw'ibikoresho vyo gushiramwo CVD gushika ku 200-300℃n'ubushuhe bwo hasi ku rugero rwa 250-350.
Gukura kw’igice ca mbere c’uguzirikana: Guhindura ibipimo vya mbere vy’ugutera kw’ibikoresho vya CVD, harimwo n’igipimo ca mbere c’uruja n’uruza rwa SiH ₄, N ₂ O, na N , umuvuduko wa mbere wa gazi, ubushobozi bwa mbere bwa RF bw’ibikoresho vyo gushiramwo CVD, igihe ca mbere co gushiramwo filime, n’ibindi, canke vyose vyavyo, kugira ngo ukureho igice ca mbere c’uguca ibibatsi n’uburebure bwa 10-200nm na urutonde rw'ibiharuro vy'uguca ibice rwa 1.4-1.71.
Ikura ry’igice ca kabiri c’uguca ibibatsi: Guhindura ibipimo vya kabiri vy’ugushirwako kwa CVD, harimwo n’igipimo ca kabiri c’uruja n’uruza rwa SiH ₄, N ₂ O, na N ₂, umuvuduko wa kabiri wa gazi, ubushobozi bwa kabiri bwa RF bw’ibikoresho vyo gushiramwo CVD, igihe ca kabiri co gushiramwo amasanamu y’ivyuma, n’ibindi, canke ivyo vyose hamwe, kugira ngo ukureho igice ca kabiri c’uguca ibibatsi ku gice ca mbere c’uguca ibibatsi, n’uburebure bwa kabiri 10-200nm n'urutonde rw'ibiharuro vy'uguca ibice 1.4-1.71.

Ivyiza vy'ubuhinga
Mu gukoresha ikintu kimwe co gukura, iyo filime y’uguzirikana irashobora gushika ku ngaruka imwe y’uguzirikana ugereranyije n’amafilime y’uguzirikana y’ibikoresho bitandukanye, bikagabanya ubwoko bw’amasoko ya gazi yakoreshejwe, bikagabanya ingorane y’uburyo bwo gutegura, no kwongera umwanya wo gutegura n’aho umuntu akora kubera ububiko n’ugukoresha inkomoko za gazi mu gihe co gutegura.

Uburyo bwo gukora bwa SiO ₂/TiO ₂ ₂

Inzira y'ubuhinga
Gutegura ibintu: Hitamwo ibice bigaragara nk’ibirahuri, ibirahuri vy’ibinyabuzima, film ya polymimide, n’ibindi, hanyuma ukore ubuvuzi bwo gukuraho amabara kugira ngo habeho uruhande rusukuye kandi rusukuye. Niba ari ngombwa, - iruhande canke ibiri -ruha bishobora gukorwa kugira ngo umuco ube mwiza.
Gutegura imbere y’igihe ca film: tetrathotoxysilane (TEOS) na tetrabul titanate (TBT) vyongerwa ku ethanol irimwo NH ₄ OH mu rugero runaka, kandi iyo nzira ifatwa mu kiringo c’amasaha 9{1}}12 kugira ngo umuntu aronke uburyo bumwe buboneka - gel.
Gupfuka no gukiza: uburyo bwa sol sol gel bushizwe ku rugero rungana ku gitereko c’ibintu bigaragara, kandi igipfukisho co gupfuka, gutera imiti, gukaraba n’ibindi bishobora gukoreshwa. Inyuma yo gupfuka, iyo filime y’ivyuma yitwa SiO /TiO ₂ ₂ yayo ishirwa mu furi yo gukiza no gutera imbere, ikaba ikora imiterere y’ibintu vyinshi.
Gupfuka ivyuma: Subiramwo ugupfuka no gukiza gushika aho ingaruka y’uguzirikana yipfuzwa iboneka. Igihe co gupfuka n’urutonde bitandukanye bizobagirako ingaruka ku bikorwa vy’amafilime arwanya ivyiyumviro, kandi ubushakashatsi n’ugutuma ibintu bigenda neza.
Guvura umuntu ku ruhande: Kugira ngo umuntu yongere uburemere n’ugushikama kw’ivyo bihimba vy’umubiri birwanya indwara, igice c’ivyuma vy’amazi n’ivy’amazi birashobora guterwa ku ruhande rwa filime irwanya ivyiyumviro.

Uburyo bwo gukora amasanamu y'infrared
Inzira y'ubuhinga
Iyi filime y’uguzirikana irwanya indwara y’umutima ishingiye kuri silikoni kandi ikozwe n’amafilime arwanya ivyiyumviro ku mpande zompi z’ico gikoresho. Igishushanyo c'imiterere ya filime y'ivyo gufata ibihimba vy'umubiri (HL) ^ S, aho H iserukira igice ca Si, L igereranya igice ca SiO, S igereranya igihe c'imiterere ya HL, kandi agaciro ka S ni umubare uhambaye hagati ya 3-6. Igipande ca Si kiri hafi y’igipande, kandi igice ca SiO kiri ku ruhande. Ivyo bikoresho bikoreshwa mu gupfuka igice ca filime n’ivyo bikoresho, n’igice ca filime ca SiO nk’igice c’inyuma, gifise uburemere bwinshi kandi ntibusaba ko umuntu ashobora kwikingira. Ikindi, SiO ifise urugero rwo hasi rwo guca mu nzira, rushobora kugabanya ubushobozi bwo guserura ibintu ku ruhande no kurushiriza kwongerekana kw’ugutuma infrared zirushirizaho.

Uburyo bwo gukora CO CO yo guhangana n'umuyagankuba
uburyo bushasha
Ivyo bikoresho vy’ugushonga imbere y’igihe: Gutandukanya imbere y’uko hakoreshwa ubuhinga bwo gushonga umuyagankuba ukoreshwa ku fluoride ya btrium, fluorium ya calcium ytrium, n’ibikoresho vya filime vya zinc selenide kugira ngo bikuremwo ibihumanye biri imbere mu bikoresho vya filime.
Igipande ca filtre y’ibara: Igipande ca mbere c’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma bifise uburebure bwa 3 ± 0.1mm n’ivy’uguhinduka kw’umwuka. Uburebure bw’uruzitiro rw’igice kimwekimwe cose ni 95% vy’uburebure bw’ubutaka bw’igice c’inyuma. Ibisabwa n’uburemere bw’umubiri ku gice kimwekimwe cose ni ibi: uburebure bw’umubiri bw’igice ca mbere c’ibara ry’umubiri ni 95-100 nanometer; Uburemere bw’umubiri bw’igice ca calcium calcium ni 860-870; Uburebure bw’umubiri bw’igice ca zinc selenide ni 240-250 nanometero 240-250; Uburemere bw’umubiri bw’igice ca kabiri c’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma vy’ivyuma ni 95-100 nanometero.
 

Ivyiza vy'ubuhinga
Igipande c’uguca ibibatsi giteguwe gifise imiterere yoroshe n’umugambi mwiza cane. Ivyo bihimba bine bihurikiye hamwe birafise ibiranga ubushobozi bwo guhangana n’ubushuhe bwinshi, ubushobozi bwo gutanga amakuru menshi, uruzitiro rukomeye, imibabaro y’inyongera hagati y’ibice vy’uruzitiro, n’ugucika kw’ibihimba vy’umubiri. Ishobora gushitsa ibikorwa vy’ugukomeza kw’ibice mu bihe vy’ubushuhe bwinshi, kandi ibikoresho bikoreshwa muri buri rwego ntibizokora imishwarara, ivyo bikaba bitazotuma abakoresha n’ibidukikije bihungabana.